Bauteile UHV / CF
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Alle in diesem Teil des Katalogs bezeichneten Produkte können Ihren individuellen Wünschen innerhalb weniger Tage angepasst werden. |
| Der Begriff UHV (Ultrahochvakuum) bezeichnet den Druckbereich < 10-7 mbar. Um derart niedrige Drücke zu erreichen und aufrecht zu erhalten muss die Gasabgaberate der gesamten Apparatur extrem klein sein. Dies lässt sich nur durch UHV-taugliche Materialien und Ausheizen der gesamten Apparatur über längere Zeit bei Temperaturen von etwa 300°C erreichen. Ist der Enddruck der verwendeten Vakuumpumpe genügend klein, wird der Enddruck der Vakuumanlage im wesentlichen von der Desorptionsrate der Behälterwände bestimmt. |
| Die Trinos Vakuum-Systeme GmbH verwendet aus obengenannten Gründen nur hochwertige Edelstähle, im Standard 1.4306 (304L). Alle Bauteile sind vakuumgerecht von innen verschweißt oder, wenn die Geometrie es nicht zulässt, komplett durchgeschweißt, um virtuelle Lecks wie Spalte und Sacklöcher zu vermeiden. Dies garantiert zusammen mit einer professionellen Oberflächenbearbeitung und Reinigung eine sehr geringe Gasabgaberate. Ein Helium Lecktest mit Leckraten besser als 10-10 mbar × l / s ist selbstverständlich. |
| Unsere UHV Komponenten werden nach ISO 3669 in den Standardgrößen DN 16 bis DN 350 gefertigt. Standardbauteile können innerhalb von 24 Stunden ausgeliefert, Sonderbauteile nach Kundenwunsch hergestellt werden. |
| Die CF (ConFlat©) Verbindung verwendet Flanschprofile mit Schneidkanten in Verbindung mit einer Metalldichtscheibe. Bei der Montage werden die Schneidkanten der Flansche in die eingeschlossene Dichtscheibe gedrückt, wobei das Metall wegfließt. Das Kaltfließen wird durch die äußere Wand der Dichtungsaufnahme begrenzt, so dass sehr hohe Drücke in der Grenzschicht entstehen. Unter dem hohen Druck beginnt das Dichtungsmaterial plastisch zu fließen und gleicht Oberflächendefekte in der Dichtungsfläche aus, wodurch eine metallische UHV-dichte Verbindung hergestellt wird. |
| Als Dichtungsmaterial wird standardmäßig sauerstofffreies OFHC (oxygen free high conductivity) Kupfer verwendet. Ein mehrfaches Ausheizen bis 450°C ist problemlos möglich, wenn - insbesondere bei großen Durchmessen - das Aufheizen und Abkühlen nicht zu schnell erfolgt. Zur Vermeidung der Oxidation des Kupfers an Luft können die Kupferdichtungen auch versilbert geliefert werden. Zu Testzwecken können auch spezielle Viton-Dichtscheiben verwendet werden, die mehrfach einsetzbar sind. |
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Wichtig bei der Montage ist, dass die Schrauben an einer CF Verbindung gleichmäßig diametral angezogen werden,
um jegliche Verspannungen zu vermeiden. Eine radiale Aussparung am Flansch dient einerseits zum Lösen der Flanschverbindung, anderseits ist sie
bei der Lecksuche hilfreich, da das Helium Spürgas direkt an die Dichtfläche gesprüht werden kann. Bei Bauteilen mit zwei oder
mehr Flanschen sollte mindestens einer drehbar sein, so dass Bauteile untereinander in die gewünschte Position ausgerichtet werden können.
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| Nennweite DN US Nomenklatur OD |
16CF 1 1/3†|
25CF 2 1/8†|
40CF 2 ¾†|
50CF 3 3/8†|
63CF 4 ½†|
75CF 4 5/8†|
100CF 6†|
130CF 6 ¾†|
160CF 8†|
200CF 10†|
250CF 12†|
300CF 14†|
350CF 16.5†|
400CF 18†|
| Außendurchmesser A [mm] |
34,0 | 54,0 | 69,9 | 85,7 | 113,5 | 117,4 | 152,0 | 171,4 | 202,4 | 253,2 | 304,8 | 355,6 | 419,1 | 457,0 |
| Flanschhöhe B [mm] |
7,75 | 12,0 | 12,7 | 17,3 | 17,5 | 17,5 | 19,8 | 21,4 | 22,2 | 24,5 | 26,0 | 28,5 | 28,5 | 28,5 |
| typisches Rohrmaß* C × D [mm] |
18x1 | 28x2 | 40x1,5 | 50,8x 1,65 |
70x2 | 76,1x2 | 108x2 | 127x1,65 | 159x2 | 205x2,5 | 256x3 | 306x3 | 356x3 | 406x3 |
| typischer Innen ø** E [mm] |
16 | 24 | 37 | 47,5 | 63,9 | 72 | 101,7 | 123,7 | 152,5 | 200 | 250 | 300 | 350 | 400 |
| Lochkreis Schrauben F [mm] |
27 | 41,3 | 58.7 | 72.4 | 92.1 | 102.3 | 130.3 | 151.6 | 181 | 231.8 | 284 | 325.4 | 388.9 | 431,8 |
| Schraubenloch ø G [mm] |
4,4 | 6,6 | 6,6 | 8,4 | 8,4 | 8,4 | 8,4 | 8,4 | 8,4 | 8,4 | 8,4 | 10,5 | 10,5 | 10,5 |
| Schrauben, metrisch | 6xM4 | 4xM6 | 6xM6 | 8xM8 | 8xM8 | 10xM8 | 16xM8 | 18xM8 | 20xM8 | 24xM8 | 32xM8 | 30xM10 | 36xM10 | 36xM10 |
| Schrauben, zöllig | 6x 8-32 |
4x 1/4-28 |
6x 1/4-28 |
8x 5/16-24 |
8x 5/16-24 |
10x 5/16-24 |
16x 5/16-24 |
18x 5/16-24 |
20x 5/16-24 |
24x 5/16-24 |
32x 5/16-24 |
30x 3/8-24 |
36 x 3/8-24 |
36x 3/8-24 |
** Der minimale Innendurchmesser wird durch die Kombination von Flansch, Rohr und Dichtung bestimmt. Zudem können
Schweißnähte und herstellungsbedingte Abweichungen von der Nenngröße den freien Durchmesser lokal verringern.
