Eckventile von SMC, pneumatisch, Softpump

Softpump- oder "Smooth Exhaust"-Ventile sind zwei pneumatische Ventile in einem Bauteil verschachtelt: Ein Hauptventil mit dem angegebenen Nenndurchmesser und ein kleines Ventil mit einstellbarer Öffnung für "sanftes Abpumpen". Partikel-aufwirbelnde Turbulenzen und Pumpenüberlastung kann verhindert werden. Aufgrund der kleinen Baugröße können die Standard Steuerventile nicht verwendet werden. Die Baureihe wird daher mit zwei integrierten Steuerventilen geliefert.

• Temperaturbereich 5°C bis 50°C
• Druckbereich: 1 x 10^-8 mbar (abs.)
• Balg-Gedichtet (Federungskörper 316L)
• Dichtung Ventilteller: FKM/FPM
• Leckrate 1,3 x 10^-9 mbar l/s (ohne Permeation)
• Zyklen bis zur ersten Wartung: 2.000.000
• reinraumtauglich gereinigt und verpackt
• Pneumatik: normal geschlossen
• zwei Steuerventile intergriert (24 V mit Überspannungsschutz); elektrischer Anschluß für zwei Steuerventilkabel SY100 (siehe Pneumatik-Zubehör)
• vorbereitet für Lagemelder am Hauptventil (siehe SMC-Zubehör)
• Optionen: Heizer gegen Dampf-Kondensation, doppelwirkende Pneumatik