Optisches Glas, Fused Silica
(synthetischer amorpher Quarz)
Im Reinraum bilden sich bei der Flammenhydrolyse von SiCl4 in einer Knallgasflamme SiO2-Nanotröpfchen höchster Reinheit. Diese werden mit mehreren Brennern auf einem rotierenden Trägerrohr abgeschieden. Über mehrere Stunden entsteht ein kreideförmiger, nanoporöser Körper, der nach Fertigstellung in einen Dehydrierofen getrocknet werden kann um Hydroxylgruppen zu entfernen, die im Aufbauprozess entstehen. Danach wird der Sootkörper in einem Sinterofen zu einem transparenten Glaskörper konsolidiert.
- Transmission: 0,2-2 µm
- Parallelität: 3 Bogenminuten
- Planität: 1 Wellenlänge bei 633 nm
- Oberflächenqualität: 40/20 Scratch/Dig
- bis 350°C
