Präzisions Z-Achsen Manipulator

• Druckbereich: 1 x 10^-10 bis 1000 mbar (abs.)
• Dichtheit: < 1 x 10^-10 mbar x l/s
• Betriebstemperatur: 80°C
• Ausheiztemperatur: 200°C
• Zyklenzahl: 10.000 bei voller Auslenkung
• Werkstoffe:
  Membranbalg: Edelstahl 316L
  Rohransatz: Edelstahl 304L
  Flansche: Edelstahl 304L
  Gehäuse: Edelstahl

Ausstattung und Eigenschaften:

Unsere UHV Manipulatoren sollen eine Reihe von Anforderungen erfüllen. Zum Einen sollen sie dem Vakuumdruck standhalten ohne sich zu verformen. Außerdem sollten unsere Manipulatoren einfach auf motorische Antriebe umrüstbar sein. Deswegen haben wir den TRINOS Z-Achsen Manipulator entworfen, der all diese Andorderungen erfüllt.

• Motorischer Antrieb ohne Umrüsten des Spindeltriebes sofort einsetzbar
• spielfreie Spindel ohne Stick-Slip-Effekt sorgt für höchste Präzision bei der Positionierung
• sehr hohe Lebensdauer der Spindel
• neuartige spielfreie Führungen
• Verwindungssteife Konstruktion bedeutet, dass der Manipulator auch unter Vakuum nicht bedeutend einknickt
• Bremse des Spindeltriebes verhindert eigenständige Bewegung
• Ausheizbar bis 200°C
• komplettes Bauteil aus Stahl um verschiedene Ausdehnungskoeffizienten zu vermeiden und damit die Genauigkeit zu erhöhen
• Auflösung 0,005 mm
• Komplett-Fertigung bei TRINOS erlaubt die Anpassung aller Parameter an die Nutzeranforderungen
• FEM-Simulation des mechanischen Verhaltens möglich

Zubehör:

• kundenspezifische An- und Aufbauten
• X/Y-Manipulator
• Reduzierungen
• Kreuzstücke
• Dichtungen
• Verschraubungen

Optionen:

Motorisierung:

• Schrittmotor
• Servomotor
• Gleichstrommotor
• Steuerungen für die Motoren

weitere:

• Dimensionsanpassungen nach Vorgabe