Rechteck-Schieber von SMC, pneumatisch

Diese pneumatisch betriebenen Rechteckventile sind besonders geeignet für den Wafertransfer. Das Design ist unempfindliche gegen Verschleiß, da zunächst der Schieber agehoben wird und dann erst gegen die Dichtfläche gepresst wird. Diese Bewegung wird auch als „L-Motion“ bezeichnet. Die Antriebe sind mit verschiedenen Kassetten-Geometrienen lieferbar.

• besonders geringe Partikelemission
• L-Motion
• Zyklen bis zu ersten Wartung: 2.000.000 bis DN40, 50.000 bis DN200
• „Endlock“: Einrasten im Endanschlag auch bei Pneumatikausfall
• Abstreifer am Hubzylinder schützt den Antrieb vor Wafer-Splittern
• Druckbereich: 1 x 10^-6 mbar bis 1 bar (abs.) in beide Richtungen
• Leckrate besser 6 x 10^-8 mbar l/s in beide Richtungen
• Differenzdruck beim öffnen 40 mbar
• Temperaturbereich 5 bis 150°C am Gate, 60°C am Aktuator
• Dichtung: FKM/FPM
• Optionen: Dichtungsmaterial Kalez^®; andere Kassetengeometrie; Lagemelder; breite Rechteckschieber (>800 mm) mit mehreren Antrieben auf Anfrage