UHV-Schieber von VAT^®, Edelstahl

Diese Edelstahl-Schieber von VAT^® für UHV bis 10^-10 mbar sind im Ventilkopf metallisch gedichtet und ausheizbar. Nur der Ventilteller ist FPM gedichtet. Der Handantrieb ist als Kurbel ausgeführt.

• Druckbereich:
  16-50 CF: 10^-10 mbar bis 2 Bar;
  63-200 CF: 10^-10 mbar bis 1,6 Bar;
  250 CF: 10^-10 mbar bis 1,2 Bar
• Differenzdruck beim Öffnen < 30 mbar
• Leckrate intern <10^-9 mbar l/s, extern <5 x 10^-10 mbar l/s
• Ausheizrate bis 50°/h
• Temperaturbereich:offen 250°C, geschlossen 200°C, pneumatik 200°C
• Zyklen bis zur ersten Wartung: 50.000
• Dichtungen: Ventilteller: FPM/FKM; Kopf: metallisch; Antrieb: balggedichtet
• ohne Lagemelder, ohne Steuerventil
• Optionen: Lagemelder, Steuerventil, zusätzlicher KF-Stutzen (z.B. Bypass)