X/Y-Präzisions-Manipulator, UHV

• Druckbereich: 1 x 10^-10 bis 1000 mbar (abs.)
• Dichtheit: < 1 x 10^-10 mbar x l/s
• Betriebstemperatur: 80°C
• Ausheiztemperatur: 250°C
• Zyklenzahl: 10.000 bei voller Auslenkung
• Werkstoffe:
• Membranbalg: Edelstahl 316L
• Rohransatz: Edelstahl 304L
• Flansche: Edelstahl 316LN ESU
• Gehäuse: Aluminium eloxiert, A5083

Ausstattung und Eigenschaften:

• keine Kunststoffteile, somit komplett ausheizbar
• spielfreie Konstruktion
• maximale x- und y- Auslenkung gleichzeitig voll nutzbar
• mittels FEM-Berechnungen optimierte Konstruktion, somit extrem verformungssteif, verhindert Positionsabweichung bei Druckänderungen
• beidseitig gleiche Flanschgröße
• freier Balginnendurchmesser für maximalen Einbauplatz
• beliebige Einbaulage
• einfacher Balgaustausch möglich
• Anschlussflansch oben mit Gewindebohrungen, Anschlussflansch unten mit Durchgangsbohrungen
• reproduzierbare Einstellgenauigkeit: 0,01 mm
• Die großen Mess- und Bedientrommeln sind leicht handhabbar und ermöglichen eine präzise Verstellung mit einer Auflösung und Einstell- und Wiederholgenauigkeit von 5 µm. In den frei zugänglichen Einbauraum kann eine Heizmanschette am Balg montiert werden. (ACHTUNG! Um die Gefahr einer Überhitzung zu vermeiden, muss die Balgheizung mit Messfühlern seperat geregelt werden.)

Zubehör:

• kundenspezifische An- und Aufbauten
• z-Manipulatoren
• Durchführungen
• Messkreuze

Optionen:

Motorisierung:

• Schrittmotor
• Servomotor
• Gleichstrommotor
• Steuerungen für die Motoren

weitere:

• Dimensionsanpassungen nach Vorgabe
• höhere Zyklenzahlen
• bauhöhenreduzierte Varianten
  (Anschlussflansch mit Gewinde vorhanden)